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SEM測試場發射掃描電鏡測試
國家
美國
型號
德國Sigma 500/美國FEI·F50
測試項目
固體樣品的微觀形貌、結構,樣品的微區元素成份及線分布、面分布能譜
樣品要求
樣品高度小于15mm,直徑小于30mm, 若樣品不導電,請告知是否需要進行鍍金處理; 樣品不能含水分;有磁性(含有Fe、Ni、Co任一種元素)請提前告知。
詳細信息
●
技術指標
:
電鏡分辨率: 1.5nm @ 15kV;2.0nm @ 10kV;3.0nm @ 5kV
加速電壓: 500V~30kV
束流大小: 最大20nA
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測試案例
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